พระบาทสมเด็จพระเจ้าตากสินมหาราช ทรงเข้าตีเมืองเชียงใหม่ โดยมีพระยากาวิละเป็นกองทัพหน้า ขับไล่พม่าข้าศึกออกจากเมืองเชียงใหม่ ได้สำเร็จ เมื่อ 5 กุมภาพันธ์ พ.ศ. 2317 และทรงปกครองเมืองเชียงใหม่แบบประเทศราช สืบมาจนถึง พ.ศ. 2435 รวมเวลา 118 ปี
ต่อมาพระบาทสมเด็จพระจุลจอมเกล้าเจ้าอยู่หัว ทรงประกาศให้อาณาจักรล้านนาไทยเข้าเป็นส่วนหนึ่งของอาณาจักร มีชื่อว่า “มณฑลพายัพ” เมื่อ พ.ศ. 2436 กองทัพบกจึงได้ส่งหน่วยทหารมาประจำที่เชียงใหม่ 1 กองร้อย โดยมี ร้อยโท ทองคำ ภูมิประภาส เป็น ผู้บังคับกองร้อยมีชื่อว่า “กองทหารเชียงใหม่” มีที่ตั้งอยู่ที่บริเวณวัดชัยศรีภูมิ อ.เมือง จ.เชียงใหม่ ในปัจจุบัน
หลังจากจอมพลเจ้าพระยาสุรศักดิ์มนตรี ปราบกบฏเงี้ยวพ่ายแพ้แล้ว เมื่อ พ.ศ. 2446 จึงขยาดกำลังทหารโดยย้าย กรมทหารราบที่ 8 ซึ่งเดิมอยู่มณฑลนครราชสีมา มาประจำมณฑลพายัพเชียงใหม่ และขยายกำลังเป็น “กรมบัญชาการมณฑลพายัพตะวันตก” แล้วย้ายหน่วยทหารเข้ามา ที่ค่ายกาวิละปัจจุบันซึ่ง เป็นที่ดินของ นายอากร เต็กกิมเซ่งหลี มอบให้กองทัพบอก และต่อมาได้รับพระราชทานบรรดาศักดิ์ เป็น หลวงอุดรภัณฑ์พานิช”
พ.ศ. 2448 ได้เปลี่ยนชื่อหน่วยใหม่ โดยยุบกรมบัญชาการทหารบกตะวันออก,ตะวันตก เป็น กรมบัญชาการทหารพายัพเชียงใหม่แห่งเดียว ในเดือน มกราคม ปีเดียวกันนั้นเอง สมเด็จพระบรมโอรสาธิราช เจ้าฟ้ามหาวิชาวุธ ขณะดำรงพระอิสริยยศเป็นสมเด็จพระยุพราช ได้ทรงเสด็จเชียงใหม่เยี่ยมค่าทหาร กาวิละ และทรงรับตำแหน่งเป็นผู้บังคับการพิเศษ
พ.ศ. 2451 กองทัพบกได้ตั้งหน่วยกำลังรบขึ้นเป็น กองพลที่ 8 ขึ้นตรงต่อกรมยุทธนาธิการ โดยมีที่ตั้งอยู่ ณ ค่ายกาวิระ จังหวัดเชียงใหม่
พ.ศ. 2454 กองพลที่ 8 ได้เปลี่ยนไปขึ้นกับ กองทัพที่ 2 พิษณุโลก โดยผู้บัญชาการคนแรก
พ.ศ. 2457 กองทัพบกมีคำสั่งให้ ผู้บัญชาการกองพลที่ 8 เป็นผู้บัญชาการทหารมณฑลพายัพ อีกตำแหน่ง
พ.ศ. 2458 เดือนธันวาคม พลเอกกรมหลวงพิษณุโลกประชานารถ ขณะดำรงตำแหน่งเสนาธิการทหารบก ได้เสด็จเยี่ยมหน่วยทหารค่ายกาวิละ
พ.ศ. 2461 กระทรวงกลาโหม ได้ออกคำสั่งสำหรับทหารบก เรื่องกำหนดเขตและชื่อมณฑลทหารบก และจังหวัดทหาบก ที่ 223/28254 ลง 22 มีนาคม 2461 ให้มณฑลทหารบกพายัพ มีเขตพื้นที่ตรงกับเขคมณฑลพายัพ โดยมีจังหวัดทหารบกขึ้นอยู่คือ
– จังหวัดทหารบกเชียงใหม่ ลำพูน มีเขตขึ้ตรงกับเขตจังหวัดเชียงใหม่และลำพูนรวมกัน
– จังหวัดทหารบกเชียงราย มีเขตตรงกับจังหวัดเชียงราย
พ.ศ. 2469 พระบาทสมเด็จพระปกเกล้าเจ้าอยู่หัว เสด็จจังหวัดเชียงใหม่ ได้ทรงเยี่ยมหน่วยทหาร ค่ายกาวิละ และทรงรับคำแหน่งเป็นผู้บังคับการพิเศษ
พ.ศ. 2471 กองทัพบกยุบกองพลที่ 8 เหลือแต่หน่วยมณฑลทหารบกพายัพ
พ.ศ. 2475 ยุบมณฑลทหารบกพายัพ ยุบกรมทหารราบที่ 8 เป็นกองพันทหารราชที่ 14
พ.ศ. 2479 กองพันทหารราบที่ 14 แปรสภาพเป็นกองพันทหารราบที่ 31
พ.ศ. 2485 กรมทหารราบที่ 31 ขยายเป็นกรมทหารราบที่ 11
พ.ศ. 2489 กรมทหารราบที่ 11 แปรสภาพเป็นกรมทหารราบที่ 14
พ.ศ. 2493 กรมทหารราบที่ 14 แปรสภาพเป็นกรมทหารราบที่ 7
พ.ศ. 2495 ค่าจังหวัดทหารบกเชียงใหม่ได้รับพระราชทานชื่อว่า “ค่ายกาวิละ” ตามแต้งความกองทัพบก ที่ 10/6079 ลง 8 เมษายน 2495
พ.ศ. 2498 กรมทหารราบที่ 7 แปรสภาพเป็น กรมผสมที่ 7
พ.ศ. 2517 กองทัพบกมีคำสั่งแยก ผู้บังคับการกรมทหารราบที่ 7 กับผู้บังคับการจังหวัดทหารบกเชียงใหม่ เป็นคนละหน่วย
พ.ศ. 2524 กระทรวงกลาโหมได้ออกกฎกระทรวงฉบับที่ 6 ลงวันที่ 23 กุมภาพันธ์ 2524 ให้จังหวัดทหารบกเชียงใหม่ ขึ้นตรงกองทัพภาคที่ 3
พ.ศ. 2533 กองทัพบกมีคำสั่ง(เฉพาะ) ลับ ที่ 129/33 เรื่อง แปรสภาพหน่วยและปรับการจัดหน่วยมณฑลทหารบก จังหวัดทหารบก ลง 14 สิงหาคม 2533 ให้จังหวัดทหารบกเชียงใหม่ แปรสภาพและปรับการจัดหน่วยเป็นมณฑลทหารบกที่ 13
พ.ศ. 2560 พลตรี สาธิต ศรีสุวรรณ เป็นผู้บัญชาการมณฑลทหารบกที่ 33
พ.ศ. 2562 พลตรี สืบสกุล บัวระวงศ์ เป็นผู้บัญชาการมณพลทหารบกที่ 33
ปัจจุบันมี พลตรี จิราวัฒน์ จุฬากุล เป็นผู้บัญชาการมณพลทหารบกที่ 33 ในลำดับที่ 69 ตั้งแต่ พ.ศ.2564 (จนถึงปัจจุบัน)